突破關(guān)鍵技術(shù)、實現(xiàn)集成電路制造裝備的自主可控，是調(diào)整我國經(jīng)濟發(fā)展方式、保障信息安全的重要支撐。8月24日，作為中國電科布局“電科裝備”和“電科能源”品牌領(lǐng)域的扛旗單位，中電科電子裝備集團有限公司（簡稱公司）正式發(fā)布了“SEMICORE爍科”系列品牌，打造爍科裝備，鑄就國芯基石。
出席此次發(fā)布儀式的包括國家國防科工委、亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)、工信部、國務(wù)院國資委、軍委裝備發(fā)展部、國家科技部重大專項小組、北京科委、國家集成電路產(chǎn)業(yè)大基金、中芯北方、核工業(yè)集團、信息產(chǎn)業(yè)電子技術(shù)研究院、中國科學(xué)院沈陽自動化所、半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、光伏行業(yè)協(xié)會、電子裝備工業(yè)協(xié)會、北方華創(chuàng)、協(xié)鑫、微電子所、北方集成電路創(chuàng)新中心等多家企事業(yè)單位人員參與。
集成電路芯片及其制造技術(shù)是信息時代的基石，是保障國家安全和國防建設(shè)的戰(zhàn)略性資源。面向國家戰(zhàn)略需求，在中國電科“1+8”品牌體系建設(shè)的部署下，公司形成了中國電科“電科裝備—裝備制造”領(lǐng)域和“電科能源”領(lǐng)域第一個民品品牌，“爍科 SEMICORE ”應(yīng)運而生。
中電科集團對爍科品牌的建設(shè)高度重視，中國電子科技集團公司黨組書記、董事長熊群力特別為爍科題詞：爍科裝備，國芯基石。
大興區(qū)委副書記、副區(qū)長、北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)工委副書記、管理委員會主任梁勝表示，電科集團作為電子工業(yè)的長子，一直以來在我國電子工業(yè)發(fā)展過程中發(fā)揮了突出貢獻(xiàn)，包括離子注入機、光伏設(shè)備、平坦化工藝設(shè)備、LED等方面都始終保持國內(nèi)領(lǐng)先地位。同時他也強調(diào)在國家重大科技專項02專項方面，電科集團開創(chuàng)了材料切割設(shè)備、光刻機、平坦化CMP、離子注入機等，得到了包括中芯國際在內(nèi)的多家公司認(rèn)證。
公司董事長、黨委書記劉濟東介紹說，“爍”，有熾熱、錘煉之意，象征著公司能吃苦、講奉獻(xiàn)、肯堅守的“十年磨一劍”裝備精神；“爍”又有光彩閃耀之意，蘊含著將爍科品牌打造成國家裝備領(lǐng)域“大國重器”的決心與信心。“科”，既代表著中國電科的身份；又有科技之意，喻示公司將承載勇于創(chuàng)新、以科技追求卓越的精神。同時英文名稱“SEMICORE”則代表公司要牢牢把握核心技術(shù)這個關(guān)鍵，立志成為半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)核心企業(yè)的責(zé)任擔(dān)當(dāng)。
重要嘉賓合影留念
在統(tǒng)一品牌的基礎(chǔ)上，公司形成了“爍科裝備 SEMICORE-EQ （裝備制造）”、“爍科紅太陽 SEMICORE-RS（光伏能源）”、“爍科國際 SEMICORE-INT（國際業(yè)務(wù)）”三大品牌，旨在展現(xiàn)公司在國家電子工藝裝備研發(fā)、制造及服務(wù)領(lǐng)域的技術(shù)能力和行業(yè)地位。
揭牌儀式
電科裝備總經(jīng)理、黨委副書記王斌則表示，電科裝備肩負(fù)著中國電科1+8品牌體系建設(shè)的戰(zhàn)略使命，將按照集團公司的“一五三三”，踐行“一二三三”發(fā)展戰(zhàn)略。。后續(xù)，爍科電子裝備有限公司將以國資委“雙百行動”為契機，充分利用國家和中國電科相關(guān)改革政策，先行先試，大膽探索，實施股權(quán)多元化，開展骨干員工股權(quán)激勵，引入外部戰(zhàn)略投資者，建立符合半導(dǎo)體裝備發(fā)展規(guī)律的現(xiàn)代企業(yè)管理體制；同時實施科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)投資“雙輪驅(qū)動”，搭建裝備研發(fā)與工藝驗證平臺，持續(xù)聚集行業(yè)領(lǐng)軍人才、海內(nèi)外優(yōu)秀人才，不斷突破集成電路裝備核心技術(shù)，推動離子注入機、CMP等裝備進入生產(chǎn)線批量應(yīng)用，實現(xiàn)進口替代、自主可控，具備國際競爭能力。
中國電科黨組成員、副總經(jīng)理、總會計師李守武則表示，中國電科裝備是以振興國家電子制造裝備為契機進行的整合，扛起了自主可控大旗，打造出了自主可控創(chuàng)新性企業(yè)，五年間牢記大國重器使命，承擔(dān)起自主可控和智能制造項目。為了落實企業(yè)轉(zhuǎn)型，牢記一流企業(yè)打造一流品牌，一流品牌成就一流企業(yè)的目標(biāo)，利用總集團的品牌優(yōu)勢，努力將“爍科”打造為國際一流品牌，依照2025戰(zhàn)略和集成電路產(chǎn)業(yè)推進綱要需求，積極踐行中國電科自主可控行動計劃和智能制造行動計劃，大力發(fā)展集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)。
中芯北方集成電路制造（北京）有限公司張昕介紹道，中芯國際自2000年成立以來，在自主道路上摸索了18年，初步打造了國家戰(zhàn)略發(fā)展需要的集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境。集成電路芯片發(fā)展離不開核心裝備發(fā)展。在集成電路裝備領(lǐng)域中芯國際與中國電科一直以來進行了深厚的合作，2004年開始兩家公司就開始開展技術(shù)交流，借助02專項支持，2010中芯國際與中國電科開始推動中束流離子注入機項目，中國電科中束流離子注入機成為集成電路領(lǐng)域首先量產(chǎn)1萬、10萬以及100萬片的國產(chǎn)裝備。2015年中芯國際又與中國電科推動高束流離子注入機項目，目前中高束離子注入機累計流片已達(dá)300萬片，實現(xiàn)了55nm以上工藝全覆蓋，并將工藝延伸至28nm。除此之外，2017年中國電科開發(fā)出國內(nèi)首臺自主知識產(chǎn)權(quán)的200mm CMP設(shè)備，進入中芯國際大眾產(chǎn)線進行產(chǎn)線驗證，成功填補了市場空白。“今天爍科品牌發(fā)布及爍科電子裝備有限公司成立，順應(yīng)了集成電路發(fā)展潮流，為核心裝備國產(chǎn)化注入強勁力量，這也標(biāo)志著進入新層次新階段。未來國產(chǎn)化道路還很漫長，我們要攜手并進，抓住機遇，通過創(chuàng)新掌握核心和自主可控的技術(shù)。”張昕說道。
隨著品牌的發(fā)布，爍科電子裝備有限公司也正式成立。
未來，公司將以“爍科”系列品牌發(fā)布為契機，進一步突出核心主業(yè)，充分調(diào)動各方積極性參與改革，發(fā)揮整體合力，提升知識、技術(shù)、管理、資本的效率和效益，爭當(dāng)國家集成電路裝備領(lǐng)域的排頭兵，切實履行好“大國重器”的責(zé)任。
